该厂为84英寸晶圆研发线配套设施的超纯净水系统性,每晚生成含硅污水150吨。污池中虽无血本属,但硅纯度高易水垢,且电阻值率需提升18MΩ·cm才华造纸废水治理 。多余治理 制作工艺不可提供新发布的《网上实业水空气污染排卸规范》(GB39731-2020)十分排卸卫生防护距离。
废气含量显著特点
具体污染破坏物
:固体硅(200-300mg/L)、颗粒剂硅(粒级0.1-1μm)
唯一性规范
:TOC<10μg/L,硼占比<5μg/L
污水水质因素
:低电阻率(<50μS/cm)但硅类化合物性状繁杂
办理加工注意事项
创新发展用于"梯级膜转移+电去阴离子"团体新工艺:
微滤预补救
:1μm瓷器膜阻拦大小粒硅,通量保持80LMH
铝离子变换硅胶粘合剂
:D201大孔树脂胶首选性离心分离硅酸原子核
三级RO系统性
:一号段环保再生资源回再回收率60%,第五段选择高脱硼膜元器件
EDI电去阳离子
:功率密度单位2A/m²,维持的还原残余物阳离子
UV紫外线除菌
:254nm太阳光的太阳极为线残留量40mJ/cm²
水平亮点纷呈
定制开发专属阻硅剂(充分胺类和好物),延长时间膜破坏期3倍
EDI版块的创新流道设计的概念,硅避开率提拔至99.8%
在线视频硅分析一下仪(估测区间0.1-500μg/L)操作脱贫操作
正常运行取得的成绩
经3.方检查:
总硅从280mg/L降下来0.05mg/L
硼含磷量从8μg/L下降0.3μg/L
设计二手回提取率从原40%升高至68%
膜根换频次增长至5年,年自动运行费用调低35%