南京某半导体材料IC芯片外理厂，晶圆外理的过程中产生了含硅、氟的特别的生活污水，构思外理大小1200吨/日。生活污水组成成分较为复杂，内含纳米级级硅粒子及盐酸，传统艺术外理做法根本无法标准。 污废水 组成成分及来原 重点破坏物 ：固体硅（100-500nm粒级）、氟铁离子（200-300mg/L）、异丙醇 种类工步 ：晶圆刻蚀废气（45%）、CMP化学工业机器增加光泽废气（40%）、设配清洗水（15%） 除理施工工艺操作流程 科学创新用"物理化学滤渣+特种作业膜脱离"技术设备的路线： 钙盐凝固 ：加药氯化钙出掉氟阴阳离子（出现CaF2沉淀物） 斜板沉淀池表现 ：符合水解酸化池剂完成固体硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm粒径膜挪作他用微细顆粒 反融入设备 ：脱盐率>98%，回收利用率75% 化掉心得 ：浓水段变现氟化物零尾气排放 终结视觉效果 氟化物有机废气浓度：<8mg/L（不超发达国家特一级原则10mg/L） 硅硫含量：<5mg/L 水的资源循环率：70%使用在一系列冷却水塔补湿 垃圾回收利用：蒸发器杂质量较过去工序减轻60%